產(chǎn)品主要參數(shù):
真空室內(nèi)徑：φ1350mm
真空室高度：1500mm
極限真空度：3.0×10-4Pa
恢復(fù)真空：大氣到4×10-3Pa≤15min
工件夾具：帽形、三扇、行星
基片烘烤：管狀加熱器，圍罩布局
蒸發(fā)源1：2只E形電子槍，功率
蒸發(fā)源2：電阻蒸發(fā) ，功率
膜厚控制：六探頭+晶控
離子源：霍爾離子源
主泵：28吋擴(kuò)散泵
機(jī)械泵： 70L/S機(jī)械泵 300L/S羅茨泵
深冷：制冷量2800W

配置特點(diǎn)：
         立式前開門結(jié)構(gòu)，整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)制造，集成模塊組合。
         觸摸屏+PLC控制系統(tǒng)，對異常報(bào)警記錄顯示，控制可靠。
          離子源，電子槍都可按要求定制，晶體控制儀結(jié)合控制膜厚.運(yùn)行穩(wěn)定
          可適合電學(xué)膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、高反膜等