RL500產(chǎn)品主要參數(shù):
真空室內(nèi)徑：φ500mm
真空室高度：700mm
極限真空度：3.0×10-4Pa
恢復(fù)真空：大氣到4×10-3Pa≤15min
蒸發(fā)源：電子槍蒸發(fā)
擴(kuò)散泵：22吋
機(jī)械泵：25L/S機(jī)械泵 70L/S羅茨泵

配置特點(diǎn)：
 立式前開門結(jié)構(gòu)，整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)制造
 觸摸屏+PLC控制系統(tǒng)，對(duì)異常報(bào)警記錄顯示，控制可靠。