產(chǎn)品主要參數(shù)
真空室內(nèi)徑：φ1550mm
真空室高度：1600mm
極限真空度：3.0×10-4Pa
恢復真空：大氣到4×10-3Pa≤15min
工件夾具轉(zhuǎn)速：3~30 r.p.m
基片烘烤：采用上烘烤，圍罩排布
蒸發(fā)源1：電子槍蒸發(fā)  功率
蒸發(fā)源2：電阻蒸發(fā)      功率
膜厚控制：六探頭+晶控
離子源：霍爾離子源
擴散泵：28吋
機械泵：140L/S機械泵 600L/S羅茨泵

配置特點：
       立式前開門結(jié)構(gòu)，整機模塊化設(shè)計制造
        觸摸屏+PLC控制系統(tǒng)，對異常報警記錄顯示，控制可靠。
        裝載量大，均勻性好，性價比高
       自動化程度高，運行穩(wěn)定