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光學(xué)鍍膜機(jī)
配置特點(diǎn)： 立式前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)制造 觸摸屏+PLC控制系統(tǒng)，對(duì)異常報(bào)警記錄顯示，控制可靠。 晶體控制儀結(jié)合控制膜厚，對(duì)多層膜應(yīng)對(duì)自如 膜厚均勻性，光譜形狀一致，無(wú)分層現(xiàn)象 EXCEL表格導(dǎo)入工藝數(shù)據(jù),導(dǎo)出工藝記錄數(shù)據(jù)
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品主要參數(shù):
真空室內(nèi)徑：φ1100mm
真空室高度：1300mm
極限真空度：3.0×10-4Pa
恢復(fù)真空：大氣到4×10-3Pa≤15min
工件夾具：帽形、三扇、行星
基片烘烤：管狀加熱器，圍罩布局
蒸發(fā)源1：2只E形電子槍
蒸發(fā)源2：電阻
膜厚控制：?jiǎn)危p）探頭+晶控
離子源：霍爾離子源
主泵：22吋擴(kuò)散泵
機(jī)械泵： 70L/S機(jī)械泵 300L/S羅茨泵
深冷：制冷量2100W
配置特點(diǎn)：
立式前開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)，整機(jī)模塊化設(shè)計(jì)制造
觸摸屏+PLC控制系統(tǒng)，對(duì)異常報(bào)警記錄顯示，控制可靠。
晶體控制儀結(jié)合控制膜厚，對(duì)多層膜應(yīng)對(duì)自如
膜厚均勻性，光譜形狀一致，無(wú)分層現(xiàn)象
EXCEL表格導(dǎo)入工藝數(shù)據(jù),導(dǎo)出工藝記錄數(shù)據(jù)
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