光學(xué)鍍膜機(jī)主要由真空鍍膜機(jī)室、真空抽氣機(jī)組及電柜（控制電柜、電子槍電柜）組成，其廣泛應(yīng)用于微電子、光學(xué)成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。

光學(xué)鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對(duì)金屬或非金屬材料加熱到適當(dāng)?shù)臏囟龋牧鲜軣岷笳舭l(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。

光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護(hù)、光路的檢修與維護(hù)、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。自然機(jī)器也更健康，效率也就更高。

光學(xué)鍍膜機(jī)的保養(yǎng)

（一）定期更換擴(kuò)散泵油

擴(kuò)散泵油使用一段時(shí)間，約二個(gè)月（兩班），因在長期高溫環(huán)境，雖然較高真空時(shí)才啟動(dòng)擴(kuò)散泵，但仍殘留氧氣及其它成份使之與擴(kuò)散泵油起反應(yīng)，擴(kuò)散泵油在高溫下也可能產(chǎn)生裂解，使其品質(zhì)下降，而延長抽氣時(shí)間。在我們認(rèn)為時(shí)間延長得太多時(shí)，應(yīng)予更換。

（二）真空泵

機(jī)械泵油、維持泵油在使用二個(gè)月，油質(zhì)會(huì)發(fā)生變化。因油可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換。如為新設(shè)備，在使用頭半個(gè)月即應(yīng)更換，因在磨合期，油含磨合鐵粉較多，會(huì)加劇磨損。

（三）清潔衛(wèi)生

定期將設(shè)備及其周圍環(huán)境衛(wèi)生搞好，常保持設(shè)備內(nèi)外清潔，將設(shè)備周圍環(huán)境整理有條，有一個(gè)好的工作環(huán)境，以保安全。